產(chǎn)品名稱：四氟化碳
CAS 號(hào)：75-73-0
四氟化碳又稱四氟甲烷，氟利昂14；
分子式CF4；
物化性質(zhì)：
| 熔點(diǎn) | -183.6℃ |
| 沸點(diǎn) | -128.1℃ |
| 液體密度 | （-130℃）1.613g/cm3 |
| 臨界溫度 | -45.67℃ |
| 臨界壓力 | 3.73MPa |
| 臨界密度 | 7.1dm3/mol |
在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、易壓縮性氣體，具有很高的穩(wěn)定性，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水。屬于完全不燃性氣體。
應(yīng)用：
四氟化碳可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、航天技術(shù)、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面大量使用。
產(chǎn)品規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 指 標(biāo) | |
| CF4， ％（V/V）≥ | 99.999 | 99.995 |
| N2， 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 |
| O2， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| CO2， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| CO， 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 |
| SF6， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 |
| H2O， 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
| HF， 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 |
| TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 |
| 總雜質(zhì)含量 ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 |
產(chǎn)品采用鋼質(zhì)無縫氣瓶多種規(guī)格系列化包裝，滿足不同用戶需求。
| 鋼瓶規(guī)格 | DOT/47L | DOT/43L | DOT/8L | DOT/4L |
| 瓶閥型號(hào) | CGA580 CGA590 CGA320 DISS716 | |||